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压力传感器(变送器)用扩散硅芯的技术特点

扩散硅芯是制造压力传感器和变送器的核心。作为一种高性能敏感元件,它可以很容易地放大并组装成具有标准信号输出的发射器。广泛用于石油、化工、冶金、电力、电子系统、航空航天、医疗、化工、汽车、机电设备等行业的过程控制。

压力传感器(变送器)用扩散硅芯的技术特点

扩散硅压敏元件封装在316L材料中,施加的压力通过密封在内部的不锈钢膜片和硅油传递到敏感芯片。敏感元件不直接接触被测介质,形成全固态结构进行压力测量,因此适用于各种环境,包括恶劣的腐蚀性介质环境。

压力芯体外增加氟橡胶O型圈,压力密封可靠,组装方便。

产品特点:进口压力芯片,高性能,固态,高可靠性

压力传感器(变送器)用扩散硅芯的技术特点

硅压阻充油芯(扩散硅压力传感器)的技术特点;

1.高灵敏度

扩散硅敏感电阻的灵敏度比金属应变片高5080倍,其满量程信号输出约为80-100mv。本发明对接口电路有很好的适应性,相应的应用成本较低。由于其输入激励电压低,输出信号大,无机械运动部件损耗,分辨率极高。

2.高精度

扩散硅压力传感器的感觉、灵敏转换和检测一体化,转换环节没有机械运动部件连接,重复性和迟滞误差非常小。由于硅材料的刚性好,变形小,传感器的线性度也很好,所以综合测量精度很高。

3.高可靠性

扩散硅敏感膜片的弹性变形量级为微应变,膜片的最大位移量级为微米级,没有机械磨损、疲劳和老化。平均无故障时间长,性能稳定,可靠性高。

4.高频响应

由于敏感隔膜硅材料本身的高固有频率,其通常为50KC。制造过程采用集成工艺,膜片的有效面积可以很小,配合特殊的刚性结构前置设计,使得传感器的频率响应很高,使用带宽可以达到零频率到100千赫。

5.良好的温度性能

随着集成技术的发展,扩散硅敏感膜的四个电阻的一致性得到了进一步提高。原有的手动补偿已被激光电阻调节和计算机自动微调技术所取代。传感器的零位和灵敏度温度系数达到了10-5/℃

6.良好的耐电击穿性

由于特殊的材料和组装工艺,扩散硅传感器不仅能在130℃下正常使用,而且能在强磁场和高压击穿试验中抵抗1500伏/交流电压的冲击。

7.良好的耐腐蚀性

由于其优异的耐化学腐蚀性,即使传感器的承压表面未被隔离,扩散硅材料也能适应各种常用介质。硅材料与硅油具有良好的相容性,这使其在被防腐材料隔离时更容易实现结构和工艺。结合其低电压、低电流、低功耗、低成本和本质安全防爆,可替代多种同类型、同功能的产品,具有最佳的性价比。

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